Mennyire kritikus a gáztisztaság a félvezetőgyártásban?
Általános konszenzus a félvezető gyártásban
A félvezetőgyártásban-bevált konszenzus uralkodik: a chip teljesítményének felső határát a tervezés határozza meg, míg a termelési hozam alsó határát az anyagtisztaság határozza meg.
A kép az internetről származik.
A teljes gázlista egyetlen chip mögött
Az ostyatisztítástól és a vékony{0}}film-lerakástól a maratásig és adalékolásig, egyetlen 12- hüvelykes ostya gyártási folyamata több mint 30 féle technológiai gázt foglal magában, beleértve a szilánt, ammóniát, nitrogén-trifluoridot, volfrám-hexafluoridot, hidrogén-kloridot és még sok mást. Minden gázt rendkívül nagy tisztasággal kell a reakciókamrába juttatni.
A ppb-szintű nyomokban lévő szennyeződések (nedvesség, oxigén, részecskék), amelyek a gázvezetékbe jutnak, vékonyréteg-hibákat és felületi szennyeződéseket idézhetnek elő, amelyek közvetlenül csökkentik a termelési hozamot. Példaként a 3 nm-es folyamatot figyelembe véve minden egyes chip több száz amerikai dollárt ér; a hozam mindössze 1%-os ingadozása elegendő ahhoz, hogy eltörölje a több tízmilliósra becsült nyereséget.
Miért nem elégséges a "nagy tisztaságú"?
A félvezetőiparon belül a „nagy tisztaság” nem egyenlő a „feldolgozásra{0}}kész”. Az igazi kihívás a tisztaság megőrzésében rejlik, - a gáz szennyeződésmentes- megőrzésében a gázforrástól a felhasználási pontig (POU) a teljes szállítási útvonalon.
Három alapvető biztosíték működik együtt ennek érdekében:
(1) Anyag kiválasztása: A csövek és a szeleptestek VIM+VAR duplán újraolvasztott 316L-es rozsdamentes acélból készülnek, hogy minimálisra csökkentsék az elemi gázkibocsátást az alapanyagokból.
(2) Felületkezelés: Belső felületi érdesség Ra Legfeljebb 0,25 μm (10 μin.) elektropolírozással (EP) a részecskék tapadásának és nedvességadszorpciójának csökkentése érdekében.
(3) Hermetikus tömítés integritása: A hélium szivárgási sebessége 1×10⁻⁹ atm·cc/s vagy annál kisebb a külső szennyeződés behatolásának teljes blokkolása érdekében.
Félvezető gázszállítási megoldások
A VIGOR VUPS Ultra-High Purity termékcsalád a SEMI szabványoknak megfelelő teljes gázszállítási láncot lefedi, beleértve a videomagnó fémfelületű-tömítési szerelvényeit, a nagy-tisztaságú membránszelepeket és a két-fokozatú nyomásszabályozókat.
Minden terméket összeszerelnek, tesztelnek és dupla{0}}zsákos vákuum-csomagolnak a 100. osztályú tisztaterekben a szállítás előtt. Az ügyfelek nem csupán egyedi szelepeket kapnak, hanem egy komplett plug{4}}and-play ultra-nagy tisztaságú biztosítási rendszert.
A VIGOR termékek megbízhatóan működnek speciális gázellátó rendszerekben és CVD/PVD gázellátó csővezetékekben számos ostyagyárban, amelyek kompatibilisek a kritikus technológiai gázokkal, mint például a szilán, nitrogén-trifluorid és bór-triklorid.
A félvezetőgyártás egy végtelen versenyfutás a szennyeződésekkel -, és a VIGOUR küldetése, hogy a lehető legtisztább rajtvonalat biztosítsa ehhez a versenyhez.
