INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS terméksorozatok megosztása
A VIGOR fejlett integrált gázrendszereket (IGS) kínál, amelyeket kifejezetten a nagy-tisztaságú gázszabályozásra terveztek a félvezetőgyártó iparban. Megoldásaink egyesítik az innovatív tervezést a szigorú gyártási szabványokkal, hogy biztosítsák a megbízhatóságot, a kompaktságot és a kiemelkedő teljesítményt a kritikus alkalmazásokban.
Termékjellemzők
- Gázszabályozásra használják a félvezetőiparban
- Moduláris kialakítás
- Minden alkatrész felületre van szerelve a SEMl szabványnak megfelelően
- A mérete körülbelül 1/3-a a hagyományos panelnek
- SEMl szabványos anyag, elektropolírozási eljárás és orbitális hegesztés
- A Wseal és a C{0}}seal opcionális
- Dupla zacskós tisztatérben
- A „tartókonzolok” kivételével minden termék a VS001A eljárási specifikáció szerint készül
IGS nyomásszabályozók VIR sorozat
1. Max. Üzemi nyomás: 150 psig
2. Max. Üzemi hőmérséklet: -40 fok F ~ 140 fok F (-40 fok ~ 60 fok)
3. Kimeneti nyomás: 0-100 psig
4. Felületi minőség: Max. 5uin. Ra
5. Anyaga: 316L VIM-VAR
6. Szelepülés: PCTFE (PFA/Vespel opcionális)
7. Áramlási kapacitás: Cv=0.08
IGS membránszelepek VID sorozat
1. Max. Üzemi nyomás: 150 psig
2. Max. Működési hőmérséklet: PCTFE 14 fok F ~ 176 fok F (-10 fok ~ 80 fok); PFA 14 fok F ~ 302 fok F (-10 fok ~ 150 fok)
3. Nincs zsákutca kialakítás
4. A nedves felületet EP-vel kezeljük, Max{1}}uin. Ra.
5. Anyaga: 316L VIM-VAR
6. 100% hélium-szivárgás-tesztelt
7. Áramlási kapacitás: Cv=0.1
IGS áramlásszabályozó szelepek VIM sorozat
1. Max. Üzemi nyomás: 150 psig
2. Max. Üzemi hőmérséklet: 14 fok F ~ 302 fok F (-10 fok ~ 150 fok)
3. Tömítés: FKM
4. A nedves felületet EP-vel kezeljük, Max{1}}uin. Ra
5. Áramlási kapacitás: Cv=0.03
IGS visszacsapó szelepek VICV sorozat
1. Max. Üzemi nyomás: 150 psig
2. Max. Üzemi hőmérséklet: 14 fok F ~ 176 fok F (-10 fok ~ 80 fok)
3. Felületi felület: Max. 5uin. Ra
4. Repedési nyomás: 0,33 psig
5. Áramlási kapacitás: Cv=0.2
VlB szubsztrátumok (C-seal)
1. C-pecsét
2. Nem -fix telepítés a tömítő hatás biztosítása érdekében
3. A nedves részt EP-vel kezeljük
4. Felületi minőség: Max. 5uin.Ra
5. Anyaga: 316L VIM-VAR
Alaptermékek sorozata
- IGS nyomásszabályozók (VIR sorozat)
- IGS membránszelepek (VID sorozat)
- IGS áramlásszabályozó szelepek (VIM sorozat)
- IGS visszacsapó szelepek (VICV sorozat)
- IGS szubsztrátumok és konzolok (VIB sorozat)
- Tömítések (VIG sorozat)
Miért válassza a VIGOR IGS-t?
Rendszereink a precíziós tervezés és a gyakorlati tervezés szinergiáját képviselik, és a következőket nyújtják:
- Helyhatékonyság: drámaian csökkentett panelméret.
- Ultra-Nagy tisztaságú: A félvezető -minőségű alkalmazásokhoz szabott anyagok és eljárások.
- Moduláris rugalmasság: Könnyen konfigurálható, bővíthető és karbantartható.
- Bizonyított megbízhatóság: szigorú tesztelés és a SEMI{0}}szabványoknak való megfelelés.
A VIGOUR-nál nem csupán alkatrészeket kínálunk,{0}}integrált megoldásokat kínálunk, amelyek magabiztosan és pontosan életre keltik ötleteit.
